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Versum Materials(버슘머트리얼즈)는 첨단 기술 노드에 대한 PDMAT의 수요 증가에 대해 어떻게 대응합니까?

ALD 또는 CVD에 의한 TaN 막 증착에 사용되는 고체 전구체인 PDMAT(Pentakis-dimethylamino Tantalum)의 공급업체로서 Versum Materials (버슘머트리얼즈)는 점점 더 수요가 증가하는 이 PDMAT molecule 을 요구하는 고객에게 몇 가지 이점을 제공합니다. 이점:

  • 일관된 고순도 및 균일성
  • 첨단 패키징
  • 입증된 성능
  • 신뢰할 수 있고 안정적인 글로벌 공급망
  • 최종 사용자를 위한 정교한 분석 역량

구리가 BEOL(back-end-of-the-line) 용도에서 배선으로 사용되는 경우 Cu 일렉트로 마이그레이션을 방지하기 위해 TaN barrier 가 필요합니다. TaN은 PVD를 사용하여 이전 노드에 증착되었지만, 고급 노드에서는 장치 구조가 더욱 복잡해졌습니다. TaN 막 두께가 감소되고 포함되어야 하는 특징의 종횡비가 증가합니다. 특정 용도의 경우 PVD 기반 TaN은 더 이상 성능 요구 사항을 충족할 수 없지만, ALD 기반 TaN은 더 얇은 막에 필요한 필름 균일성과 통일성을 구현합니다. 따라서 PDMAT 기반의 TaN 막은 첨단 기술 노드 기기를 위한 반도체 산업에서 채택되었습니다.

PDMAT의 사용은 심각한 문제를 동반합니다. PDMAT는 수분과 산소에 민감합니다. 고순도 TaN 막을 얻기 위해서는 산소 불순물 수준을 제어해야 합니다. 고체 전구체이기 때문에 일관된 공급 속도를 유지하는 것이 어려울 수 있습니다. 입자 오염을 올바르게 대비하지 않으면 공정에 재료를 전달하는 동안 또 다른 주요 문제로 대두됩니다.

집중적인 개발 노력을 통해 Versum Materials (버슘머트리얼즈)는 산소 및 기타 불순물을 효과적으로 제거하는 고유한 정제 공정을 포함하여 최첨단 제조 공정을 활용하여 이러한 문제를 해결했습니다. 당사의 PDMAT는 통제된 환경에서 처리되므로 매우 우수한 품질의 소재가 고객에게 공급됩니다.

또한, Versum Materials (버슘머트리얼즈)는 자체 생산을 최적화하고 고객 프로세스를 해결할 수 있는 고유한 테스트 기능을 확립했습니다.

이 제품 서비스에 관해 자세히 알아보려면 다음 연락처로 문의해 주십시오.

Dr. Xuezhong “Shawn” Jiang, PDMAT 마케팅 관리자

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