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Versum Materials(버슘머트리얼즈)는 생성할 새로운 Molecule을 어떻게 결정합니까?

Versum Materials(버슘머트리얼즈)의 사명은 전 세계의 첨단 반도체 회사가 과학 기술의 영역을 확대할 수 있도록 하는 것입니다. 이 목표를 향한 첫 걸음은 고객의 의견을 경청하고 기술 문제에 대한 깊은 이해를 발전시키는 것입니다. 다음으로, 당사는 새로운 분자를 스크리닝하기 위한 반복적인 과학적 프로세스(가설, 실험 및 결론)를 거칩니다. 가설 단계에서 합성 화학자, 계산 과학자, 화학 공학자 및 소재 과학자로 구성된 당사의 다기능 팀은 알려진 전구체-구조-및-필름-속성 관계와 원자 층 증착(ALD) 반응 메커니즘에 대한 기본적인 이해를 바탕으로 잠재적인 새로운 분자를 확인합니다.

실험 단계에는 다양한 방법이 포함됩니다. (a) 후보 분자를 정량적으로 평가하고 순위를 매기는 분자 및 표면 반응 계산 모델링 (b) 견고한 제품을 보장하기 위한 분자 합성, 제조 가능성 평가 및 안정성 검증 (c) 반응 메커니즘의 실험적 증거를 얻기 위해 새로 합성된 분자를 사용하여 현장 표면 연구 (d) ALD 반응기에서 새로운 분자의 응용 시험 및 증착된 필름 속성의 측정 이러한 반복 과정을 통해 당사는 고객의 요구를 충족시키는 유망한 새로운 분자를 확인하여 과학적 과정의 결론 단계로 안내합니다(아래 그림 참조).

예를 들어, 당사의 고객은 저온에서 highly-conformal 막이 필요할 수도 있습니다. High conformality는 ALD에 의해 증착된 막으로 바뀔 것입니다. 따라서 이 고객 목표를 충족시키기 위해 생성하는 모든 새로운 분자는 저온에서 ALD 반응을 가능하게 하는 리간드를 충분히 포함합니다. 계산 모델링 [1], 현장 표면 연구 [2] 및 응용 시험 [3]을 사용하여 당사는 저장소에서 안정적이고 대량으로 확장 가능하며 고객 목표를 충족시키는 유망한 새로운 분자(Di-Sec-ButylAmino) 실란을 확인했습니다.

혁신 중심의 선도적인 전자 소재 공급업체인 당사는 속도와 민첩성이 중요하다는 것을 알고 있으므로 고객과의 접촉을 수시로 진행합니다. 당사의 고객이 채택하는 유망한 새로운 분자는 확장되어 당사의 차세대 첨단 제품이 됩니다.

참고 문헌:

[1] L. Huang, B. Han, A. Derecskei-Kovacs, M. Xiao, X. Lei, M. O’Neill, R. M. Pearlstein, H. Chandra and H. Cheng, J. Phys. Chem. C 117, 19454(2013).
2L.F. Pēna, C.E, Nanayakkara, A. Mallikarjunan, H. Chandra, M. Xaio, X. Lei, R.M. Pearlstein, A. Derecskei-Kovacs, and Y.J Chabal, J. Phys. Chem. C120,109272016
3A. Mallikarjunan, H. Chandra, M. Xaio, X. Lei, R.M. Pearlstein, H.R. Bowen, M.L. O’Neill, A. Derecskei-Kovacs, and B. Han; J. Vac. Sci. Technol. A 33, 01A137(2015).

 

저자

Anu Mallikarjuan은 9년 동안 기술 분야에서 근무했으며, 최근에는 오가노실란 기반ALD/CVD 응용 분야의 기술 리더로 활동했습니다. Anu는 Rensselaer에서 재료 과학 공학 박사 학위를 받았습니다.

Anu.M@nullversummaterials.com

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