열린 모바일 내비게이션

전문가 상담

Versum Materials(버슘머트리얼즈)는 CVD 또는 ALD 전구체 개발을 가속화하기 위해 computational chemistry을 어떻게 사용합니까?

전자 기기의 추가 수축은 새로운 소재 및 새로운 박막 증착 공정의 신속한 개발에 새로운 도전 과제를 제기합니다. 전구체 화학 및 증착 메커니즘의 첫 번째 원리 분석은 잠재적 전구체의 초기 가상 스크리닝을 통해 실험 비용을 크게 줄일 수 있습니다. 동시에 이들 연구는 전구체 안정성과 표면 반응성에 대한 근본적인 이해를 향상시킬 수 있습니다.

Versum Materials(버슘머트리얼즈)는 고급 유기실란 및 유기 금속 전구체의 설계에 computational chemistry을 적용했습니다. 아래는 computational chemistry을이용한 유기실란 및 유기 금속 전구체 개발의 모델링 예입니다.

유기실란 전구체:

밀도 함수 이론(DFT) 계산이 실리콘 산화물의 유기실란 전구체의 모델 화학 흡착에 적용되었습니다. 그림 1은 아미노실란 전구체에 대한 ALD 공정과 관련된 다양한 사이클을 보여줍니다. 이러한 사이클 각각은 전구체 속성을 이해하고 원자로 작동 조건을 최적화하기 위해 열화학 및 동력학적 측면에서 정량화되었습니다.

유기 금속 전구체:

밀도 함수 이론(DFT) 계산은 Cu, SiOH 및 SiH 종결된 회로기판에서 다양한 코발트 전구체의 리간드 해리 에너지, 분해 메커니즘 및 표면 반응을 연구하기 위해 사용되었습니다. 이 연구에서 고려한 코발트 전구체는 시클로펜타디에닐, 알릴 및 알킨 리간드를 갖는 코발트 아미드, 코발트 이미다졸릴 및 코발트 카르보닐을 포함합니다. 이 연구는 다른 회로기판에서 Co 증착의 선택성에 대한 통찰력을 제공했으며 새로운 ALD Co 전구체의 선택을 위한 보다 체계적인 접근을 허용했습니다. 그림 2는 두 가지 다른 회로기판과의 전구체 반응의 열역학을 정량화하기 위해 first-principles 계산법을 사용하는 방법을 보여줍니다.

 

저자

Agnes Derecskei는 연구원으로 8년간 회사와 함께 일해 왔습니다. Agnes Derecskei는 알링턴에 위치한 University of Texas에서 수리학/화학 박사 학위를 받았고 헝가리 데브레첸에 위치한 Lajos Kossuth University에서 이론 물리학 박사 학위를 받았습니다.

Agnes.Derecskei@nullversummaterials.com

 

 

 

Andrew J. Adamczyk는 수석 엔지니어로, 5년간 회사와 함께 일하면서 제품 및 프로세스 개발을 위한 모델링 지원을 제공했습니다. 그는 Northwestern에서 화학 공학 박사 학위를 받았고 MIT와 USC에서 박사 후 연구원으로 재직했으며 노벨상 수상자인 Arieh Warshel 박사와 함께 근무했습니다.

Andrew.Adamczyk@nullversummaterials.com

 

 

 

Sergei Ivanov는 연구원으로 15년간 회사와 함께 일해 왔습니다. 그는 Russian Academy of Sciences의 일반 무기 화학 연구소에서 무기 화학 박사 학위를 받았습니다.

Sergei.Ivanov@nullversummaterials.com

Powered by Translations.com GlobalLink OneLink Software