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Versum Materials(버슘머트리얼즈)는 CVD 및 ALD 전구체의 열 안정성을 확립하기 위해 어떤 방법론을 사용합니까?

성공적인 상업화를 위해서는 CVD 및 ALD 전구체의 열 안정성에 대한 심층적인 이해가 중요합니다. 반도체 산업에 고반응성 에너지 소재를 공급하는 Versum Materials(버슘머트리얼즈)는 상업화 프로세스의 모든 단계에서 당사 전구체의 열 안정성을 완전히 특성화할 수 있는 강력한 기능을 개발했습니다. 초기 전구체 선택은 액체 또는 고체상에서의 증발에 의한 전구체 전달 실현 가능성을 이해하는 것부터 시작합니다.

Versum Materials(버슘머트리얼즈)는 또한 TGA 분석을 통해 유기실란 및 유기 금속 전구체의 증기압을 계산하는 방법을 개발했습니다. 전구체의 열 안정성을 더 자세히 이해하기 위해 Versum Materials (버슘머트리얼즈)는 시차주사 열량측정법(DSC) 및 열안정성시험기(TSU)를 사용합니다. 이 계측기는 가열 중 위상 변화 및 분해 현상을 특성화하는 데 사용됩니다. 고에너지 전구체를 도구에 안전하게 전달하기 위해 Versum Materials (버슘머트리얼즈)는 TSU 분석을 수행하여 압력과 샘플 온도를 오븐 온도의 함수로서 모니터링합니다. TSU 분석은 전구체 열분해 또는 위상 변화 사건에 대한 중요한 정보를 제공합니다.

Versum Materials (버슘머트리얼즈)는 고객 도구의 전구체 안정성을 특성화하기 위해 전구체가 고객 도구에서 사용되는 온도에서 1-16주 동안 가열되는 장기 열 테스트를 수행합니다. 다른 응용의 경우, 예비 보관 기한 결정 또는 장기 보관 목적으로 주변 온도에서 저하율을 평가하기 위해 1-4주 동안 고온에서 전구체를 가열하여 가속 노화 실험을 수행합니다*. 전구체는 다양한 분석 방법으로 가열 전후에 분석되어 시뮬레이션 프로세스 또는 주변 보관 조건에서 열 안정성을 측정합니다. 최종 전구체 생산 규모를 확장하는 동안 Versum Materials(버슘머트리얼즈)는 전구체 열분해의 시작을 감지하기 위해 매우 민감한 기술인 가속율 열량측정법 테스트를 수행합니다.

이 방법은 최적의 성능과 안전성을 보장하기 위해 Versum Materials (버슘머트리얼즈)가 전구체의 주요 열 안정성 매개변수를 특성화할 수 있도록 해 주는 보완적인 분석 구성 요소입니다. Versum Materials (버슘머트리얼즈) 과학자의 지식과 전문성은 많은 고객이 새로운 소재를 안전하고 성공적으로 생산하는 데 도움이 되었습니다.

*ASTM method F1980-07, Standard Guide for Accelerated Aging(ASTM 방법 F1980-07, 가속 노화에 대한 표준 안내서)

저자

Steve Mayorga는 연구원으로 26년간 회사와 함께 일해 왔습니다. Steve Mayorga는 UC Berkeley에서 무기 화학 박사 학위를 받았습니다.

Steve.Mayorga@versummaterials.com

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