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안전 및 신뢰 – 새로운 GASGUARD® eV를 만나보십시오.

Versum Materials (버슘머트리얼즈)에서 새롭게 선보이는 GASGUARD® eV Temperature Control System 은 제조 과정에서 전자 특수 가스를 가열하기 위해 더욱 정확하고 정밀한 제어를 제공합니다. 독립형 통합 시스템은 추가적인 제3자의 장비를 요구하는 설계에서 안정성을 개선할 수 있습니다.

Versum Materials (버슘머트리얼즈), Inc.는 새로운 GASGUARD® eV 온도 조절 시스템을 발표했습니다. 이 시스템은 안정적인 fabwide 열 공급 및 흐름을 유지하거나 증가시키기 위해 가열이 필요한 전자 특수 가스 제어 기능을 제공함으로써 제조 일관성을 향상시키고 소유 및 운영 비용을 낮추도록 설계되었습니다. 이 시스템은 NH3, CO2, SiH2Cl2, WF6, SiCl4, BCl3, HF, C4F6, HBr, CH3F와 같은 가스 또는 반도체 및 TFT-LCD와 Photovoltaics 에 사용되는 액화 압축 가스를 공급하는 데 적합하게 제작되었습니다.

GASGUARD eV 온도 제어 시스템은 GASGUARD 시스템의 신뢰할 수 있는 가스 공급 기술과 ECC 가열기/컨트롤러, 2개의 커버 및 2개의 열흔을 통합하여 추가적인 제3자의 장비의 지정, 설치 및 시운전과 관련한 우려를 없애고 시간을 절약할 수 있는 통합 플랫폼을 제공합니다. 통합 시스템을 사용하면 공장은 공급 시스템의 구성 요소를 업그레이드하거나 교체할 필요없이 제조 공정을 확장할 수도 있습니다.

GASGUARD eV 시스템의 새롭게 설계된 가열기 덮개는 가열기와 단열재, 이중 전압(120V 또는 208~240V 공급)과 이중 바이메탈 스위치를 통한 과열 보호 장치 안정성을 위한 단일 구조로 되어 있으므로 가열된 가스를 제조 도구로 더욱 정확하게 공급할 수 있습니다.

Versum은 사용자에게 향상된 가동 시간, 간소화된 문제 해결 및 개선된 컨트롤러 안정성을 제공하는 벤치마크 가스 공급 제어도 함께 포함할 수 있도록 가열기/컨트롤러와 AP11 컨트롤러 간의 통합 모니터링 및 제어 연결을 확장했습니다.

또한, 이 장치는 단일 전원 공급 장치(이중 전원 공급 옵션 포함) 및 통합 GFRI 보호 기능을 통해 설치 비용을 절감합니다. 추가 기능도 포함되어 있는 GASGUARD eV 시스템은 차지하는 공간을 줄여 공장에서 사용 가능한 공간을 늘릴 수도 있습니다.

단일 또는 다중 공급 시스템으로 사용할 수 있는 GASGUARD eV 시스템은 Class 1, Division 2, ATEX, CE, CSA 승인 및 기타 인증을 보유하고 있습니다.

GASGUARD 가스 공급 시스템 제품군의 최신 제품에는 단일 공급 시스템부터 다중 실린더 공급 및 퍼지 시스템까지 다양한 구성의 자동, 반자동, 수동 시스템이 포함됩니다. 다양한 GASGUARD 시스템 모델은 다음과 같은 다양한 종류의 유해 가스, 예를 들어 인화성, 자연 발화성, 부식성, 독성 및 고독성(highly-toxics) 가스 등을 수반할 수 있으며, 모든 모델은 특정 제조 요구 사항을 충족할 수 있도록 사용자 설정되어 있습니다.

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