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GASGUARD eV: 전자 특수 가스에 대한 스마트한 Fabwide 열 소싱 및 제어

GASGUARD® eV 온도 조절 시스템은 이제 안전성과 신뢰성을 위해 연속적인 가스 흐름을 보장하는 원격 장착 옵션을 제공합니다.

Versum Materials(버슘머트리얼즈), Inc.는 원격 장착 컨트롤러 옵션을 추가하여 상당히 업그레이드된 GASGUARD eV 온도 제어 시스템을 도입합니다. 이 시스템은 반도체 제조 공장의 공구에 공급하기 전에 가열해야 하는 특수 가스의 스마트한 최첨단 열 소싱 및 제어를 제공합니다.

새로 향상된 시스템은 소유 비용을 낮추고 가동 시간을 개선하며 상단 및 원격 장착 옵션을 사용하여 문제 해결을 간소화하고 설치 공간을 줄입니다. 완벽하게 인증되었으며 코드 호환이 가능한 eV 모델에는 2개의 A 또는 B 크기 실린더를 수용할 수 있도록 2개의 700와트 커버와 2개의 열 추적 기능이 있는 전기 화학적 압축 히터/컨트롤러와 가스 캐비닛이 포함됩니다. 또한, GASGUARD AP11 컨트롤러가 포함되어 있습니다. 이 컨트롤러는 통합된 모니터링 및 제어 기능을 제공하며, 듀얼 전원(선택 사양)을 갖춘 단일 전원 공급 장치를 제공합니다.

당사 고객은 GASGUARD eV 온도 제어 기술이 지속적이고 정확한 온도 및 압력 제어, 향상된 PID(비례, 적분, 미분) 온도 제어, 과열 보호 및 지속적인 모니터링을 제공한다고 보고했습니다. 또한 당사 시스템은 큰 온도 변동이 없는 연속적인 가스 흐름을 보장합니다.

Versum Materials(버슘머트리얼즈)에서 판매하는 가스 공급 시스템의 1/3은 가열을 사용하여 저온 가스를 흐르게 하며 회사는 "필요한 곳 어디에서나 온도 제어 기술을 사용하여" 시스템 유연성을 향상시키기 위해 노력하고 있습니다.

60년 이상의 경험을 바탕으로 반도체, TFT(박막 트랜지스터) LCD 및 광전지 산업에 GASGUARD 가스 및 화학 물질 공급 시스템을 지원합니다. 이러한 공급 시스템에는 단일 소스부터 다중 실린더 소스 및 퍼지 시스템에 이르기까지 다양한 구성의 자동, 반자동 및 수동 버전이 포함되며 모든 종류의 위험 가스를 수용할 수 있습니다. 인화성, 자연 발화성, 부식성, 독성 및 고독성(highly-toxics) 가스 등을 수반할 수 있으며, 모든 모델은 특정 제조 요구 사항을 충족할 수 있도록 사용자 지정되어 있습니다.

Versum Materials(버슘머트리얼즈)는 30년 이상 30,000개 이상의 신소재 및 공급장치 시스템을 납품해 온 역사를 바탕으로 고순도 가스 및 액체 분배가 가능한 보다 안전하고 안정적인 공급 장비를 지속적으로 설계하고 구축하고 있습니다.

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