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제품

동위원소 농축 BF3(삼불화 붕소) ION-X® Dopant 가스
저장 및 공급 시스템

특수 소재, 전자 소재, 공정용 소재

Versum Materials(버슘머트리얼즈)와 NuMat Technologies는 전 세계 고객에게 ION-X 부압 도판트 가스 저장 및 공급 시스템 솔루션을 제공하기 위한 글로벌 제휴를 발표했습니다. ION-X는 Arsine, PH3(Phosphine) 및 BF(Boron trifluoride) 같은 부압 도판트 가스를 안전하게 저장하고 공급하는 데 사용됩니다. ION-X는 MOF(금속 유기 프레임워크)를 기반으로 대기압 이하의 압력에서 초고순도 가스를 선택적으로 흡착, 저장 및 안전하게 운반할 수 있습니다.

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