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제품

CHEMGUARD® GENIII 500 화학 물질 자동 리필 시스템(용제 퍼지 포함)

공급 시스템 및 서비스

당사의 CHEMGUARD Gen III 500 모델은 저휘발성 화학 물질에 대한 자동 용제 퍼지가 포함된 DTLR(이중 저장소) 시스템입니다. 두 개의 precursor 탱크는 오늘날 반도체 제조공장의 요구 사항인 100% 가동 시간을 충족시킵니다. 당사는 모든 고순도 화학 물질 공급 장비에 수년간의 경험을 접목시켜 UHP(초고순도) 액체를 안전하고 경제적으로 공급할 수 있도록 합니다.

CHEMGUARD는 457mm(18인치) x 533mm(21인치)의 축소된 공간에 설치할 수 있으므로 서로 인접한 위치에 여러 캐비닛을 배치할 수 있습니다. 이렇게 하면 공장 내의 가용 바닥 공간을 최대한 사용하는 동시에 배기 요건이 완화되므로 총 소유 비용이 낮아집니다. 각 캐비닛은 완전 자동화되었으며 컬러 터치 스크린이 있는 마이크로 프로세서 기반 컨트롤러가 포함되어 있습니다. 3세대 컨트롤러 설계는 피그테일 연결부에서 모든 화학 물질을 확실히 제거하기 위해 자동 모니터링을 통해 컨테이너 교체 작업을 최적화합니다. 표준화된 모듈식 설계에 기반하므로 맞춤 설정이 가능하고 유지관리 및 향후 확장이 간편합니다. 각 CHEMGUARD 모델은 테스트 및 수년의 경험을 바탕으로 가동 중지 시간 없이 안정적으로 화학 물질을 도구에 공급합니다.

CHEMGUARD 고순도 화학 물질 공급 장비 제품군은 독립형 장비 이상의 기능을 제공합니다. 대부분의 OEM 공정 도구와 직접 연결되도록 설계되었으며 초고순도 액체용으로 설계된 fabwide 분배 시스템으로 보강될 수 있습니다.

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