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GASGUARD® Y 실린더용 벌크 eV 온도 제어 시스템 가열된 가스의 최신 스마트 제조 기술 - 소유 비용을 낮추고 더 향상된 플로우를 공급하고, 나아가 안전과 안정성을 강화합니다. 자체 포함된 GASGUARD의 Y 실린더 가열을 위한 벌크 eV 온도 제어 시스템은 2단계로 사용하도록 제작되었습니다. 첫 번째는 ECC 컨트롤러이고 두 번째는 새 커버입니다. 시스템이 ISO 컨테이너도 수용할 수 있도록 수정할 수...

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GASGUARD® 활성 제어 단계 1 드리프트 0의 다양한 제조 조건에서 높은 증기압 가스의 압력을 유지관리하고 반복하여 안정화합니다. 이제 GASGUARD 활성 단계 I 기술을 통해 반도체 실험실에서는 드리프트 0의 조건에서 도구로 공급하는 중 높은 증기압 가스(예: 도판트 가스, 정화 가스, 높은 압력의 할로겐화 탄소(NF3, 실란, N2O, CO2, CF4 등))를 제어할 때 보다 뛰어난 정밀도를 얻을 수...

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GASGUARD® LED 조명 - 캐비닛 및 컨트롤러 내 고체 LED 조명 GASGUARD 가스 캐비닛 및 컨트롤러 내 LED 조명은 유지관리 및 문제 해결 수행 중에 사용자 경험을 향상시킵니다. 이 옵션은 GASGUARD AP11 컨트롤러에서만 사용할 수 있습니다. 31-99분 범위의 자동 종료에 대한 선택적 시간 값입니다. 표준 설정은 99분입니다. LED 조명의 주요 이점은 검사, 실린더 변경, 유지관리 및 작업에 대해 향상된 가시성, 장기 수명, 에너지 효율성, 자체 포함된...

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GASGUARD® AP11/Gen III 컨트롤러용 Local Trending 소프트웨어 "Local Trending" 소프트웨어 옵션에서는 운영자에게 아날로그 기록을 제공합니다. 이 소프트웨어 옵션은 Versum Materials (버슘머트리얼즈)의 AP11/Gen III 컨트롤러에서 사용할 수 있습니다. 이 기능은 컨트롤러 및 펌웨어 업그레이드에 설치된 프로그래밍된 소프트웨어 동글로 새로 장착할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 공급 압력, 실린더 압력 또는 시간에 따른 온도와 같은 아날로그 변수를 추적할 수 있습니다. 시간 추적...

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S-1088 Exhausted Line Rinse Station Versum Materials (버슘머트리얼즈) Model S-1088은 자체 포함된 완전 자동 시스템으로, 사용자가 프로그래밍할 수 있는 DIW 및 산성 혼합물로 스테인리스강 배기 라인과 기타 FAB 파트를 세척하도록 설계되었습니다.

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S-1702 Etch Parts Cleaner Versum Materials (버슘머트리얼즈) Model S-1702는 자체 포함된 완전 자동 시스템으로, 사전 프로그래밍된 정확한 제조법을 사용하여 쿼츠 챔버, 세라믹 링, 샤워헤드, 기타 부품을 헹구고 산으로 식각하도록 설계되었습니다. 사용자가 선택할 수 있는 산 분사 및 분사 헹굼 기능은 균일하게 식각하고 깨끗하게 헹구도록 순환 반복됩니다.

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S-1087 Exhausted Work Station Versum Materials (버슘머트리얼즈) S-1087 Exhausted Work Station은 자체 포함된 수동 워크스테이션으로, 배기가스 배출 환경에서 부품을 세척하고 헹구도록 설계되었습니다. 싱크는 2개의 고정 스프레이 막대로 고정되어 있으며, "스프레이 막대 켜기" 버튼을 눌러 작동할 수 있습니다. 공기 압축 방식의 배수 밸브를 통해 운영자는...

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CHEMGUARD® Gen III 모델 CG350 화학 물질 자동 리필 시스템 W/Opt. eV 난방 새로운 소식: 3세대 CHEMGUARD가 출시되었습니다! CHEMGUARD CG350은 가동 시간을 최대화하고 오늘날 제조공장의 까다로운 요구를 충족하기 위해 설계된 이중 탱크 액체 리필(DTLR) 캐비닛입니다. CHEMGUARD는 457mm(18인치) x 533mm(21인치)의 축소된 공간에 설치할 수 있으므로 서로 인접한 위치에 여러 캐비닛을 배치할 수 있습니다. 이는...

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PH3(Phosphine) ION-X® 도판트 가스 저장 및 공급 시스템 Versum Materials(버슘머트리얼즈)와 NuMat Technologies는 전 세계 고객에게 ION-X 부압 도판트 가스 저장 및 공급 시스템 솔루션을 제공하기 위한 글로벌 제휴를 발표했습니다. ION-X는 Arsine, PH3(Phosphine) 및 BF(Boron trifluoride) 같은 부압 도판트 가스를 안전하게 저장하고 공급하는 데 사용됩니다. ION-X는 MOF(금속 유기 프레임워크)를 기반으로 대기압 이하의 압력에서 초고순도 가스를 선택적으로 흡착, 저장 및 안전하게 운반...

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QMAC® 품질 모니터링 및 제어 분석 시스템 초고순도 가스 및 공급 시스템용으로 개발된 Versum Materials(버슘머트리얼즈) QMAC 품질 모니터링 및 제어 분석 시스템은 대량 및 특수 가스 불순물을 모니터링함으로써 성공적인 반도체 제조를 지원하는 입증된 솔루션입니다. QMAC® 품질 모니터링 및 제어 분석 시스템은 초고순도 분석기를 통합하여 질소, 산소, 아르곤, 헬륨, 수소 등의 초고순도 가스를 효과적으로 샘플링합니다....

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